和西微电子高温烧结炉太阳能电池片扩散炉PECVD设备

深圳市和西微电子设备有限公司是继和西电子设备有限公司之后成立的又一家设备公司，专业设计，生产及经营太阳能光伏设备，包括有PECVD,扩散炉，高温炉，清洗设备等。2007年公司开始进入太阳能设备领域，相继开发出了PECVD，扩散炉，各种清洗植绒设备，高温烧结炉等产品。公司把在成套电子设备上的成熟，领先技术用于光伏太电能电池行业，旨在为全球光伏太阳能产业做出自己的贡献。和西微电子设备有限公司，技术力量雄厚，汇聚各类技术人员，具有自主研发，设计和生产各种产品的能力。

高温烘干烧结一体炉 
设备型号：SF-2000
设备主要特点
采用特殊网带传送方式，传送非常平稳。
Windows操作系统，中英文在线随意切换，集成控制全机系统，具备故障显示功能，可将生产参数完全储存。且便于分析。
西门子PLC+PC控制整机，稳定可靠，曲线重复精度高，避免了电脑的死机造成产品的损失。
低耗电量，更加节约使用成本。
完整的报警系统，故障问题可在电脑界面清楚显示。


PECVD等离子化学气相淀积设备
设备型号：PE-310
 设备主要特点：（用于制作太阳能电池片)
紧凑型设计：标准单台三管（二管，四管可选），减少占地面积。
 各种气体精确控制流量：数字式MFC的运用，比模拟式的控制精度提高，还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
 系统控制：全进口零部件，自动压力闭环调节系统，精确控制反应室内真空环境。
 高频电源：进口高频电源稳定可靠。
 送片方式：高定位精度和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳可靠，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
 封门系统：密封的炉门设计，有效减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，保证装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
 管路：工艺管路采用进口阀门管件组成--气密性好，耐腐蚀，无污染（管路均采用PE级电抛光管路）。
 自动装载机械手（可选）。

太阳能电池片扩散炉
设备型号：KS-420
设备主要特点：
紧凑型设计
标准单台四管（三管可选），减少占地面积。
闭管磷扩散
工艺反应过程中，工艺片在石英管内，Sic桨外置，实现真正意义上的闭管扩散。
各种气体精确控制流量
数字式MFC的运用，比模拟式的控制精度提高，还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
废气收集系统
带有废气定向回收冷却装置，收集后统一从后部排出。
气体喷淋扩散工艺
POCl3 ，可采用管内喷淋式引入到各反应区域，有效提高扩散的均匀性。
送片方式
高定位精度和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳可靠，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统
密封的炉门设计，有效减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，保证装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
自动压力平衡装置
自动闭环压力控制。实现压力平衡自动处理。