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5KW 8KW 10KW双面曝光机
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※设备名称：
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EXP-830手动曝光机 (8KW大台面曝光机)
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项次
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内 容
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规 格
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1
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电 源
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AC380V 3φ 50/60HZ 35KVA
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2
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机台外尺寸
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W1420+*L2700*H1730mm
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3
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有效曝光面积
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24" × 32"×2片
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4
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曝 光 台 面
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MYLAR VS玻璃×２组，采电磁锁控制
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5
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灯 管
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8KW ×２PCS(金属卤素灯)
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6
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曝光均匀度
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85％以上
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7
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冷 却 系 统
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灯管：循环间接水冷式(水套式)
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台面：强制气冷式
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8
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曝光控制器
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智能型人机接口及曝光能量控制
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9
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真 空 系 统
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-700mm/Hg以上
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客户提供使用
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(1)室温：23℃±2℃，湿度：55％-60％之间
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环境及外围设备
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(2).冷却水塔：13吨、流量120L/min、进水温度30℃(依现场配管计算)
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冰水系统：7.5吨、流量50L/min、进水温度7~15℃(依现场配管计算)
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进出水管径1-1/4"、排水管径3/4"
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(3).内部循环水：蒸馏水60L
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(4).外接气源：a. 5Kgf/cm2(流量大于200 L/min)管径1/4"PT快速接头
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b.真空产生器气源：5Kgf/cm2 (流量大于100L/min)
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管径1/4"PT快速接头
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特 点：
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(1). LCD智能型中(英)文能量强度显示，高频率取样控制系统
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(2).曝光台面采电磁锁控制方式。方便精准。
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(3).上、下框／灯，均可独立能量设定。
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(4).中(英)文版故障异常检知显示系统，方便操作使用。
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(5).可自动控制进水量大小，避免冬夏季及使用冰水机产生问题
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(6).采7.5HP涡卷式压缩机，节省能源功率大
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备 注：
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